（１）低速陽電子ビームによる消滅γ線ドップラー拡がり測定 各種材料評価の深さ方向の空孔型欠陥評価 （２）陽電子寿命測定 バルク試料における陽電子寿命測定，空孔型欠陥のサイズ評価． ◆ 陽電子消滅法の特徴・検出できる欠陥：単一原子空孔～空隙（ポア，数10 nm3)・高感度（>1016 cm-3 ）かつ非破壊・試料の温度，伝導率などの制限なし・試料表面から数?mまでの欠陥深さ分布検出が可能・半導体，金属，絶縁体，高分子等の空孔検出が可能